Приказ Министерства труда и социальной защиты Российской Федерации от 10.07.2014 № 455н

 



                              ПРИКАЗ

    МИНИСТЕРСТВА ТРУДА И СОЦИАЛЬНОЙ ЗАЩИТЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

                     от 10 июля 2014 г. N 455н


            Об утверждении профессионального стандарта
       "Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства
     наносистем (включая наносенсорику и интегральные схемы)"

        Зарегистрирован Минюстом России 18 августа 2014 г.
                      Регистрационный N 33629

     В соответствии с пунктом 22 Правил разработки,  утверждения  и
применения профессиональных стандартов, утвержденных постановлением
Правительства  Российской  Федерации  от  22 января  2013 г.   N 23
(Собрание  законодательства  Российской   Федерации,   2013,   N 4,
ст. 293), приказываю:
     Утвердить      прилагаемый      профессиональный      стандарт
"Инженер-проектировщик  фотошаблонов  для  производства  наносистем
(включая наносенсорику и интегральные схемы)".


     Министр                                            М.А.Топилин


                          ______________


                                                         Приложение


                     ПРОФЕССИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ

  Инженер-проектировщик фотошаблонов для производства наносистем
           (включая наносенсорику и интегральные схемы)

                                             |--------------------|
                                             |         182        |
                                             |--------------------|
                                              Регистрационный номер

                         I. Общие сведения
                                                         |--------|
Проектирование фотошаблонов и подготовка управляющей     | 40.045 |
информации для их изготовления                           |--------|
________________________________________________________     Код
     (наименование вида профессиональной деятельности)

     Основная цель вида профессиональной деятельности:

|-----------------------------------------------------------------|
|Проектирование и сопровождение фотошаблонов, включая подготовку  |
|управляющей информации для изготовления фотошаблонов с           |
|информационной защитой проектных решений                         |
|-----------------------------------------------------------------|

     Вид трудовой деятельности (группа занятий):

|-----------|----------------------|--------|---------------------|
|   1222    |Руководители          |  2139  |Специалисты по       |
|           |специализированных    |        |компьютерам, не      |
|           |(производственно-     |        |вошедшие в другие    |
|           |эксплуатационных)     |        |группы               |
|           |подразделений (служб) |        |                     |
|           |в промышленности      |        |                     |
|-----------|----------------------|--------|---------------------|
|   2132    |Программисты          |  2144  |Инженеры-электроники,|
|           |                      |        |инженеры по связи и  |
|           |                      |        |приборостроению      |
|-----------|----------------------|--------|---------------------|
(код ОКЗ<1>)      (наименование)    (код ОКЗ)    (наименование)

     Отнесение к видам экономической деятельности:

|---------------|-------------------------------------------------|
|   32.10.6     |Производство интегральных схем, микросборок и    |
|               |микромодулей                                     |
|---------------|-------------------------------------------------|
|   73.10       |Научные исследования и разработки в области      |
|               |естественных и технических наук                  |
|---------------|-------------------------------------------------|
(код ОКВЭД<2>)    (наименование вида экономической деятельности)
     _________________
     <1> Общероссийский классификатор занятий.
     <2> Общероссийский    классификатор    видов     экономической
деятельности.

             II. Описание трудовых функций, входящих в профессиональный стандарт
                      (функциональная карта вида трудовой деятельности)

|--------------------------------------------|----------------------------------------------|
|          Обобщенные трудовые функции       |                 Трудовые функции             |
|---|---------------------------|------------|--------------------------|------|------------|
|код|       наименование        |   уровень  |       наименование       |  код |   уровень  |
|   |                           |квалификации|                          |      |(подуровень)|
|   |                           |            |                          |      |квалификации|
|---|---------------------------|------------|--------------------------|------|------------|
| 1 |             2             |      3     |              4           |   5  |      6     |
|---|---------------------------|------------|--------------------------|------|------------|
| А |Проектирование фотошаблонов|      6     |Проведение верификации    |А/01.6|      6     |
|   |субмикронного и            |            |первичных данных для      |      |            |
|   |нанометрового уровней      |            |проектирования            |      |            |
|   |технологии                 |            |фотошаблонов              |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Создание математических   |А/02.6|      6     |
|   |                           |            |моделей элементов         |      |            |
|   |                           |            |коррекции оптических      |      |            |
|   |                           |            |эффектов близости и       |      |            |
|   |                           |            |проведение калибровки     |      |            |
|   |                           |            |созданных математических  |      |            |
|   |                           |            |моделей                   |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Настройка математических  |А/03.6|      6     |
|   |                           |            |моделей литографического  |      |            |
|   |                           |            |процесса для проведения   |      |            |
|   |                           |            |коррекции оптических      |      |            |
|   |                           |            |эффектов близости         |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Проведение оптимизации    |А/04.6|      6     |
|   |                           |            |параметров топологии в    |      |            |
|   |                           |            |соответствии с техническим|      |            |
|   |                           |            |заданием                  |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Разработка виртуального   |А/05.6|      6     |
|   |                           |            |прототипа фотошаблона     |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Проведение подготовки     |А/06.6|      6     |
|   |                           |            |управляющей информации для|      |            |
|   |                           |            |оборудования участка      |      |            |
|   |                           |            |изготовления фотошаблонов |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Подготовка комплекта      |А/07.6|      6     |
|   |                           |            |конструкторской           |      |            |
|   |                           |            |документации на           |      |            |
|   |                           |            |проектирование            |      |            |
|   |                           |            |фотошаблонов              |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Составление               |А/08.6|      6     |
|   |                           |            |сопроводительной          |      |            |
|   |                           |            |документации на комплект  |      |            |
|   |                           |            |фотошаблонов              |      |            |
|---|---------------------------|------------|--------------------------|------|------------|
| В |Разработка         маршрута|     7      |Проведение анализа  этапов|В/01.7|     7      |
|   |проектирования фотошаблонов|            |проектирования           и|      |            |
|   |в технологии  субмикронного|            |разработка  требований   и|      |            |
|   |и нанометрового диапазонов |            |спецификаций    к     ядру|      |            |
|   |                           |            |системы     проектирования|      |            |
|   |                           |            |фотошаблонов              |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Разработка     требований,|В/02.7|     7      |
|   |                           |            |спецификаций             и|      |            |
|   |                           |            |формирование       перечня|      |            |
|   |                           |            |прикладного   программного|      |            |
|   |                           |            |обеспечения       маршрута|      |            |
|   |                           |            |проектирования            |      |            |
|   |                           |            |фотошаблонов под требуемый|      |            |
|   |                           |            |уровень технологии        |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Проведение тестирования  и|В/03.7|     7      |
|   |                           |            |верификации разработанного|      |            |
|   |                           |            |маршрута    проектирования|      |            |
|   |                           |            |фотошаблонов              |      |            |
|---|---------------------------|------------|--------------------------|------|------------|
| С |Выполнение                 |     7      |Проведение         анализа|С/01.7|     7      |
|   |внутрипроизводственных     |            |новейших  исследований   в|      |            |
|   |мероприятий по  обеспечению|            |области     информационной|      |            |
|   |информационной безопасности|            |безопасности   и    защиты|      |            |
|   |при          проектировании|            |данных при  проектировании|      |            |
|   |фотошаблонов               |            |фотошаблонов              |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Разработка      регламента|С/02.7|     7      |
|   |                           |            |обеспечения информационной|      |            |
|   |                           |            |защиты  проектных  решений|      |            |
|   |                           |            |при         проектировании|      |            |
|   |                           |            |фотошаблонов              |      |            |
|   |                           |            |--------------------------|------|------------|
|   |                           |            |Контроль        выполнения|С/03.7|     7      |
|   |                           |            |внутреннего     регламента|      |            |
|   |                           |            |информационной      защиты|      |            |
|   |                           |            |проектных решений         |      |            |
|---|---------------------------|------------|--------------------------|------|------------|

         III. Характеристика обобщенных трудовых функций

                 3.1. Обобщенная трудовая функция

             |----------------------------|     |---|         |---|
Наименование |Проектирование фотошаблонов | Код | А | Уровень | 6 |
             |субмикронного и             |     |   | квали-  |   |
             |нанометрового уровней       |     |   | фикации |   |
             |технологии                  |     |   |         |   |
             |----------------------------|     |---|         |---|

Происхождение |----------|------------|---------|-----------------|
обобщенной    |Оригинал X|Заимствовано|         |                 |
трудовой      |          |из оригинала|         |                 |
функции       |----------|------------|---------|-----------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|-----------------|-----------------------------------------------|
|Возможные        |Инженер-электроник                             |
|наименования     |Инженер-программист                            |
|должностей       |                                               |
|-----------------|-----------------------------------------------|

|-----------------|----------------------------------------------|
|Требования к     |Высшее образование - бакалавриат              |
|образованию и    |Дополнительные профессиональные программы -   |
|обучению         |программы повышения квалификации, программы   |
|                 |профессиональной переподготовки               |
|-----------------|----------------------------------------------|
|Требования к     |Опыт практической работы более двух лет в     |
|опыту            |должности инженера-программиста или           |
|практической     |инженера-электроника                          |
|работы           |                                              |
|-----------------|----------------------------------------------|
|Особые условия   |Прохождение обязательных предварительных (при |
|допуска к работе |поступлении на работу) и периодических        |
|                 |медицинских осмотров (обследований), а также  |
|                 |внеочередных медицинских осмотров             |
|                 |(обследований) в порядке, установленном       |
|                 |законодательством Российской Федерации<1>     |
|-----------------|----------------------------------------------|

     Дополнительные характеристики:

|----------------|--------|---------------------------------------|
|  Наименование  |  Код   |      Наименование базовой группы,     |
|   документа    |        |должности (профессии) или специальности|
|----------------|--------|---------------------------------------|
|ОКЗ             | 2132   |Программисты                           |
|                |--------|---------------------------------------|
|                | 2139   |Специалисты по компьютерам, не вошедшие|
|                |        |в другие группы                        |
|                |--------|---------------------------------------|
|                | 2144   |Инженеры-электроники, инженеры по связи|
|                |        |и приборостроению                      |
|----------------|--------|---------------------------------------|
|ЕКС<2>          |   -    |Инженер-электроник                     |
|                |--------|---------------------------------------|
|                |   -    |Инженер-программист                    |
|----------------|--------|---------------------------------------|
|ОКСО<3>         | 210100 |Электроника и микроэлектроника         |
|                |--------|---------------------------------------|
|                | 210600 |Нанотехнология                         |
|                |--------|---------------------------------------|
|                | 230100 |Информатика и вычислительная техника   |
|----------------|--------|---------------------------------------|
     ____________
     <1> Приказ Минздравсоцразвития  России  от  12 апреля  2011 г.
N 302н   "Об утверждении   перечней   вредных   и   (или)   опасных
производственных  факторов  и   работ,   при   выполнении   которых
проводятся обязательные предварительные и периодические медицинские
осмотры   (обследования),   и   Порядка   проведения   обязательных
предварительных и периодических медицинских осмотров (обследований)
работников, занятых на тяжелых работах и на работах  с  вредными  и
(или) опасными условиями труда" (зарегистрирован в  Минюсте  России
21 октября  2011 г.,   регистрационный   N 22111)   с   изменением,
внесенным  приказом  Минздрава  России  от  15 мая  2013 г.  N 296н
(зарегистрирован в Минюсте России 3 июля  2013 г.,  регистрационный
N 28970);  Трудовой  кодекс  Российской   Федерации,   статья   213
(Собрание законодательства Российской Федерации, 2002, N 1,  ст. 3;
2004, N 35, ст. 3607; 2006, N 27, ст. 2878; 2008,  N 30,  ст. 3616;
2011, N 49, ст. 7031; 2013, N 48, ст. 6165; N 52, ст. 6986).
     <2> Единый     квалификационный     справочник      должностей
руководителей, специалистов и служащих.
     <3> Общероссийский     классификатор     специальностей     по
образованию.

                      3.1.1. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Проведение верификации| Код|А/01.6|   Уровень   | 6 |
             |первичных данных для  |    |      | (подуровень)|   |
             |проектирования        |    |      | квалификации|   |
             |фотошаблонов          |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|------------------|----------------------------------------------|
|Трудовые действия |Анализ   первичных   данных   и   согласование|
|                  |технического    задания    (описание     слоев|
|                  |фотошаблона, перечень необходимых операций  со|
|                  |слоями, описание  необходимых  технологических|
|                  |элементов)                                    |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проведение  контроля   сформированного   кадра|
|                  |изображения                                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проведение   верификации   исходных    данных,|
|                  |заложенных   в   техническом    задании,    на|
|                  |корректность предоставленных  данных  согласно|
|                  |форме, утвержденной в организации (технические|
|                  |требования - приложение к договору)           |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Формирование  отчета  (записи  в  журнале)   о|
|                  |начале работы над проектом (заказом)          |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые умения|Использовать   техническую   документацию   на|
|                  |проектирование и разработку фотошаблонов      |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Владеть методами проектирования фотошаблонов и|
|                  |подготовки  управляющей  информации   для   их|
|                  |изготовления  согласно  маршрутной  карте  для|
|                  |заданного технологического уровня             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Владеть  технологией  разработки   программных|
|                  |средств                                       |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Определять элементы топологии                 |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Осуществлять  входной   контроль   модуля   на|
|                  |соответствие техническому  заданию  (габариты,|
|                  |тональность,  проектные  размеры,  ориентация,|
|                  |зеркальность, масштаб)                        |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проверять топологию на наличие линий и  фигур,|
|                  |не предусмотренных техническим заданием       |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые знания|Основы технологии производства фотошаблонов  и|
|                  |интегральных схем                             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Технический английский язык                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Целевые      системы       автоматизированного|
|                  |проектирования     фотошаблонов,      средства|
|                  |разработки программ                           |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Типовые маршруты проектирования фотошаблонов  |
|------------------|----------------------------------------------|
|Другие            |                        -                     |
|характеристики    |                                              |
|------------------|----------------------------------------------|

                      3.1.2. Трудовая функция

            |-----------------------|    |------|             |---|
Наименование|Создание математических| Код|А/02.6|   Уровень   | 6 |
            |моделей элементов      |    |      | (подуровень)|   |
            |коррекции оптических   |    |      | квалификации|   |
            |эффектов близости и    |    |      |             |   |
            |проведение калибровки  |    |      |             |   |
            |созданных              |    |      |             |   |
            |математических моделей |    |      |             |   |
            |-----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|----------------|------------------------------------------------|
|Трудовые        |Анализ технических возможностей литографического|
|действия        |оборудования  для  проектирования   фотошаблонов|
|                |данного технологического уровня                 |
|                |------------------------------------------------|
|                |Определение необходимости  проведения  коррекции|
|                |оптических эффектов близости                    |
|                |------------------------------------------------|
|                |Формирование  скриптов  коррекции  и  проведение|
|                |коррекции оптических эффектов близости          |
|                |------------------------------------------------|
|                |Проведение анализа методов коррекции  оптических|
|                |эффектов     близости     при     проектировании|
|                |фотошаблонов                                    |
|                |------------------------------------------------|
|                |Определение и согласование с технологами участка|
|                |изготовления фотошаблонов  параметров  коррекции|
|                |эффектов оптической  близости  для  формирования|
|                |технологического рисунка на фотошаблоне         |
|----------------|------------------------------------------------|
|Необходимые     |Владеть методиками работы со специализированными|
|умения          |программными   платформами   проектирования    и|
|                |верификации фотошаблонов                        |
|                |------------------------------------------------|
|                |Анализировать   методы   коррекции    оптических|
|                |эффектов близости и коррекции фазового сдвига   |
|                |------------------------------------------------|
|                |Владеть способами коррекции оптических  эффектов|
|                |близости   в   пределах   используемой   системы|
|                |автоматизированного проектирования              |
|                |------------------------------------------------|
|                |Использовать и правильно комбинировать алгоритмы|
|                |и  программы  для  оптимального   проектирования|
|                |фотошаблонов                                    |
|----------------|------------------------------------------------|
|Необходимые     |Технический английский язык                     |
|знания          |------------------------------------------------|
|                |Раздел   общей   физики:   оптика    (дифракция,|
|                |интерференция), основы фурье-оптики             |
|                |------------------------------------------------|
|                |Процессы   электронно-лучевой    и    оптической|
|                |литографии,       технологии        формирования|
|                |топологического  рисунка  с   помощью   лазерных|
|                |генераторов изображения                         |
|                |------------------------------------------------|
|                |Особенности  литографического  оборудования  при|
|                |изготовлении фотошаблона                        |
|                |------------------------------------------------|
|                |Химические процессы травления фоторезиста       |
|                |------------------------------------------------|
|                |Целевые       системы        автоматизированного|
|                |проектирования                                  |
|                |------------------------------------------------|
|                |Маршруты     разработки     и     проектирования|
|                |фотошаблонов                                    |
|                |------------------------------------------------|
|                |Методики верификации фотошаблонов               |
|                |------------------------------------------------|
|                |Возможности скриптовых языков                   |
|                |------------------------------------------------|
|                |Булева алгебра                                  |
|                |------------------------------------------------|
|                |Методы  создания  моделей  коррекции  оптических|
|                |эффектов близости                               |
|----------------|------------------------------------------------|
|Другие          |                         -                      |
|характеристики  |                                                |
|----------------|------------------------------------------------|

                      3.1.3. Трудовая функция

            |------------------------|    |------|            |---|
Наименование|Настройка математических| Код|А/03.6|  Уровень   | 6 |
            |моделей литографического|    |      |(подуровень)|   |
            |процесса для проведения |    |      |квалификации|   |
            |коррекции оптических    |    |      |            |   |
            |эффектов близости       |    |      |            |   |
            |------------------------|    |------|            |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|-------------------|---------------------------------------------|
|Трудовые действия  |Проведение верификации  полученной  топологии|
|                   |кристалла сверхбольших интегральных схем     |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Проведение анализа и выбор способов коррекции|
|                   |оптических   искажений   при   проектировании|
|                   |фотошаблонов                                 |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Выбор   совокупности   параметров   настройки|
|                   |математической    модели     литографического|
|                   |процесса для проведения коррекции  оптических|
|                   |эффектов близости                            |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые умения |Получать адекватную  модель  литографического|
|                   |процесса,   для   которого   подготавливается|
|                   |данный комплект фотошаблонов                 |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Осуществлять        калибровку         модели|
|                   |литографического процесса                    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Проводить  коррекцию   оптической   близости,|
|                   |основанную    на    математических    моделях|
|                   |(распределении  интенсивности  излучения  при|
|                   |экспонировании   после   прохождения    через|
|                   |фотошаблон),  наборе  правил   проектирования|
|                   |(топологический  слой  по  заранее  заданному|
|                   |набору правил проектирования  проверяется  на|
|                   |наличие мест, в которых  необходимо  провести|
|                   |коррекцию) с учетом вариации процесса        |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые знания |Раздел  общей  физики:   оптика   (дифракция,|
|                   |интерференция), основы фурье-оптики          |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Высшая математика                            |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Процессы фотолитографии                      |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Методики верификации фотошаблонов            |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Использование технологии внеосевого освещения|
|                   |для         улучшения         воспроизведения|
|                   |плотноупакованных топологических структур    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Технологии единого интерфейса для  управления|
|                   |объектами  автоматизации  и  технологическими|
|                   |процессами   специализированных   программных|
|                   |платформ                                     |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Другие             |                        -                    |
|характеристики     |                                             |
|-------------------|---------------------------------------------|

                      3.1.4. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Проведение оптимизации| Код|А/04.6|   Уровень   | 6 |
             |параметров топологии в|    |      | (подуровень)|   |
             |соответствии с        |    |      | квалификации|   |
             |техническим заданием  |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|------------------|----------------------------------------------|
|Трудовые действия |Проведение  верификации  параметров   исходной|
|                  |топологии  (тональность,  критичные   размеры,|
|                  |габаритные    размеры    поля     фотошаблона,|
|                  |координаты центра, наличие  маркировки,  метки|
|                  |совмещения, метки для проекционной литографии)|
|                  |на   соответствие   техническому   заданию   и|
|                  |правилам проектирования                       |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проведение обработки топологии  фотошаблона  в|
|                  |соответствии   с   требованиями   технического|
|                  |задания   (операции   позиционирования   слоя,|
|                  |изменение тональности слоя, коррекции размеров|
|                  |для   каждого   слоя,    коррекции    эффектов|
|                  |оптической близости, коррекции фазового сдвига|
|                  |для слоя с применением фазосдвигающих масок)  |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые умения|Проверять ключевые параметры топологии        |
|                  |(тональность, критичные элементы, габаритные  |
|                  |размеры, метки совмещения, метки проекционной |
|                  |литографии) на соответствие техническому      |
|                  |заданию и правилам проектирования             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проводить конвертацию топологических данных во|
|                  |внутренний формат оборудования                |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Владеть методологией коррекции оптических     |
|                  |эффектов близости, контроля линейных размеров |
|                  |топологических элементов                      |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проводить обработку топологии фотошаблонов в  |
|                  |соответствии с требованиями технического      |
|                  |задания                                       |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Создавать служебные элементы фотошаблонов:    |
|                  |метки совмещения, мультипликации, штрих-код,  |
|                  |текстовые метки                               |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проводить полный цикл автоматизированного     |
|                  |проектирования фотошаблона                    |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые знания|Технический английский язык                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Оптика - дифракция, интерференция             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Процессы электронно-лучевой и оптической      |
|                  |литографии                                    |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Целевые системы автоматизированного           |
|                  |проектирования                                |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Маршрут разработки и проектирования           |
|                  |фотошаблонов                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Методики верификации фотошаблонов             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Возможности скриптовых языков                 |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Базовые маршруты разработки и верификации     |
|                  |сверхбольших интегральных схем, в том числе   |
|                  |систем на кристалле                           |
|------------------|----------------------------------------------|
|Другие            |                         -                    |
|характеристики    |                                              |
|------------------|----------------------------------------------|

                      3.1.5. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Разработка            | Код|А/05.6|   Уровень   | 6 |
             |виртуального прототипа|    |      | (подуровень)|   |
             |фотошаблона           |    |      | квалификации|   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|------------------|----------------------------------------------|
|Трудовые действия |Формирование служебных элементов  фотошаблона,|
|                  |необходимых    для     производственного     и|
|                  |контрольно-измерительного оборудования        |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Формирование      виртуального       прототипа|
|                  |фотошаблона (рамки,  служебной  информации)  с|
|                  |определением    координат    всех    служебных|
|                  |элементов                                     |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Размещение  топологии  кристалла  и   тестовых|
|                  |структур в рабочем поле  фотошаблона  согласно|
|                  |техническому заданию и правилам проектирования|
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Объединение топологии  кристалла  и  служебной|
|                  |информации в один файл, осуществляющий  сборку|
|                  |фотошаблона                                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Согласование полученной управляющей информации|
|                  |с заказчиком                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проверка  выходных  данных   на   соответствие|
|                  |техническому заданию                          |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проведение верификации проекта на соответствие|
|                  |правилам изготовления                         |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые умения|Владеть    специализированными    программными|
|                  |платформами проектирования фотошаблонов       |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Программировать на языках высокого уровня     |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проводить   сборку    готового    фотошаблона:|
|                  |подключать баркод, проверять метки совмещения,|
|                  |метки контроля, тестовые структуры, топологию |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Осуществлять      конвертацию      управляющей|
|                  |информации    в    формат     литографического|
|                  |оборудования                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проводить анализ проектных  решений  топологии|
|                  |фотошаблонов  применительно  к  технологии  их|
|                  |изготовления и используемому  технологическому|
|                  |оборудованию                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проверять    ключевые    параметры    конечной|
|                  |топологии на соответствие техническому заданию|
|                  |и правилам изготовления                       |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые знания|Технический английский язык                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Целевые      системы       автоматизированного|
|                  |проектирования, системы разработки программных|
|                  |средств                                       |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Методики верификации фотошаблона              |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Языки   программирования   высокого    уровня,|
|                  |используемые      в      целевых      системах|
|                  |автоматизированного проектирования            |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Методики    верификации    фотошаблонов    для|
|                  |заданного технологического уровня             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Технологический      маршрут      изготовления|
|                  |фотошаблонов                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Особенности   литографического   оборудования,|
|                  |применяемого для изготовления фотошаблонов    |
|------------------|----------------------------------------------|
|Другие            |                       -                      |
|характеристики    |                                              |
|------------------|----------------------------------------------|

                      3.1.6. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Проведение подготовки | Код|А/06.6|   Уровень   | 6 |
             |управляющей информации|    |      | (подуровень)|   |
             |для оборудования      |    |      | квалификации|   |
             |участка изготовления  |    |      |             |   |
             |фотошаблонов          |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|------------------|----------------------------------------------|
|Трудовые действия |Проведение   операции   разбиения    элементов|
|                  |топологии    кристалла    на    геометрические|
|                  |примитивы,      соответствующие       форматам|
|                  |технологических установок                     |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проверка  выходных  данных   на   соответствие|
|                  |техническому заданию                          |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проведение верификации проекта на соответствие|
|                  |правилам изготовления                         |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Конвертация  данных  в  формат   используемого|
|                  |лазерного генератора изображений либо в формат|
|                  |установки,       используемой        сторонним|
|                  |изготовителем фотошаблонов                    |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые умения|Проводить   анализ   топологии    фотошаблонов|
|                  |применительно к технологии их  изготовления  и|
|                  |используемому технологическому оборудованию   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проверять    ключевые    параметры    конечной|
|                  |топологии на соответствие техническому заданию|
|                  |и правилам изготовления  с  учетом  перекрытия|
|                  |слоев,  расстояния  между  элементами,  ширины|
|                  |элементов                                     |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Осуществлять  перевод  данных  в   управляющую|
|                  |информацию       для       лазерного       или|
|                  |электронно-лучевого  генератора   изображений,|
|                  |установок   контроля   критических   размеров,|
|                  |аттестации на дефектность                     |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые знания|Целевые      системы       автоматизированного|
|                  |проектирования                                |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Базовые методы защиты информации              |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Процессы литографии                           |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Правила разработки документации в соответствии|
|                  |со стандартом организации                     |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Методики    верификации     фотошаблона     на|
|                  |соответствие правилам изготовления            |
|------------------|----------------------------------------------|
|Другие            |                        -                     |
|характеристики    |                                              |
|------------------|----------------------------------------------|

                      3.1.7. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Подготовка комплекта  | Код|А/07.6|   Уровень   | 6 |
             |конструкторской       |    |      | (подуровень)|   |
             |документации на       |    |      | квалификации|   |
             |проектирование        |    |      |             |   |
             |фотошаблонов          |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|-------------------|---------------------------------------------|
|Трудовые действия  |Разработка конструкторской документации на   |
|                   |проектирование фотошаблонов с учетом защиты  |
|                   |информации                                   |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Согласование разработанной конструкторской   |
|                   |документации                                 |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Утверждение конструкторской документации на  |
|                   |проектирование комплекта фотошаблонов        |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые умения |Проверять конструкторскую документацию на    |
|                   |соответствие государственным нормативным     |
|                   |документам и требованиям международных       |
|                   |стандартов                                   |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Работать с программными продуктами,          |
|                   |текстовыми редакторами, офисными приложениями|
|                   |систем электронного документооборота         |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Читать и применять технические нормативные   |
|                   |документы (маршрутные и технологические      |
|                   |карты, внутренние регламенты организации)    |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые знания |Целевые системы автоматизированного          |
|                   |проектирования                               |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Методы информационной защиты                 |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Маршрут проектирования фотошаблонов          |
|                   |соответствующего уровня технологии           |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Технический английский язык                  |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Нормативные документы, регламентирующие      |
|                   |конструкторскую деятельность по фотошаблонам |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Правила оформления проектной документации    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Регламенты ведения документооборота,         |
|                   |используемые в организации                   |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Другие             |                      -                      |
|характеристики     |                                             |
|-------------------|---------------------------------------------|

                      3.1.8. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Составление           | Код|А/08.6|   Уровень   | 6 |
             |сопроводительной      |    |      | (подуровень)|   |
             |документации на       |    |      | квалификации|   |
             |комплект фотошаблонов |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|-------------------|---------------------------------------------|
|Трудовые действия  |Разработка сопроводительной документации на  |
|                   |комплект фотошаблонов                        |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Согласование с технологом участка            |
|                   |изготовления фотошаблонов сопроводительной   |
|                   |документации на комплект фотошаблонов        |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Утверждение сопроводительной документации на |
|                   |комплект фотошаблонов                        |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Формирование отчета в журнале о выполнении   |
|                   |проекта                                      |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые умения |Контролировать качество сопроводительных     |
|                   |документов и соответствие их государственным |
|                   |нормативным документам и международным       |
|                   |стандартам                                   |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Работать с программными продуктами,          |
|                   |текстовыми редакторами                       |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Читать и применять технические и нормативные |
|                   |документы: маршрутные и технологические      |
|                   |карты, внутренние регламенты организации     |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые знания |Целевые системы автоматизированного          |
|                   |проектирования                               |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Процесс фотолитографии, химического травления|
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Маршрут проектирования фотошаблонов          |
|                   |соответствующего уровня технологии           |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Технический английский язык                  |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Соответствующие государственные и технические|
|                   |нормативные документы                        |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Правила оформления проектной документации    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Регламенты ведения документооборота,         |
|                   |используемые в организации                   |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Другие             |                      -                      |
|характеристики     |                                             |
|-------------------|---------------------------------------------|

                 3.2. Обобщенная трудовая функция

             |----------------------------|     |---|         |---|
Наименование |Разработка маршрута         | Код | B | Уровень | 7 |
             |проектирования фотошаблонов |     |   | квали-  |   |
             |в технологии субмикронного и|     |   | фикации |   |
             |нанометрового диапазонов    |     |   |         |   |
             |----------------------------|     |---|         |---|

Происхождение |----------|------------|---------|-----------------|
обобщенной    |Оригинал X|Заимствовано|         |                 |
трудовой      |          |из оригинала|         |                 |
функции       |----------|------------|---------|-----------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|-------------------|---------------------------------------------|
|Возможные          |Ведущий (главный) инженер-проектировщик      |
|наименования       |                                             |
|должностей         |                                             |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Требования к       |Высшее образование - специалитет,            |
|образованию и      |магистратура                                 |
|обучению           |Дополнительные профессиональные программы -  |
|                   |программы повышения квалификации, программы  |
|                   |профессиональной переподготовки              |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Требования к опыту |Опыт практической работы  более  трех  лет  в|
|практической работы|области проектирования фотошаблонов          |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Особые условия     |Прохождение обязательных предварительных (при|
|допуска к работе   |поступлении  на   работу)   и   периодических|
|                   |медицинских осмотров (обследований), а  также|
|                   |внеочередных       медицинских       осмотров|
|                   |(обследований)   в   порядке,   установленном|
|                   |законодательством Российской Федерации       |
|-------------------|---------------------------------------------|

     Дополнительные характеристики:

|----------------|--------|---------------------------------------|
|  Наименование  |  Код   |   Наименование базовой группы,        |
|   документа    |        |     должности (профессии) или         |
|                |        |            специальности              |
|----------------|--------|---------------------------------------|
|ОКЗ             |  1222  |Руководители специализированных        |
|                |        |(производственно-эксплуатационных)     |
|                |        |подразделений, служб                   |
|                |--------|---------------------------------------|
|                |  2139  |Специалисты по компьютерам, не         |
|                |        |вошедшие в другие группы               |
|                |--------|---------------------------------------|
|                |  2144  |Инженеры-электроники, инженеры по      |
|                |        |связи и приборостроению                |
|----------------|--------|---------------------------------------|
|ЕКС             |   -    |Главный инженер                        |
|----------------|--------|---------------------------------------|
|ОКСО            | 210100 |Электроника и микроэлектроника         |
|                |--------|---------------------------------------|
|                | 210600 |Нанотехнология                         |
|                |--------|---------------------------------------|
|                | 230100 |Информатика и вычислительная техника   |
|----------------|--------|---------------------------------------|

                      3.2.1. Трудовая функция

             |-----------------------|    |------|            |---|
Наименование |Проведение анализа     | Код|B/01.7|  Уровень   | 7 |
             |этапов проектирования  |    |      |(подуровень)|   |
             |и разработка требований|    |      |квалификации|   |
             |и спецификаций к ядру  |    |      |            |   |
             |системы проектирования |    |      |            |   |
             |фотошаблонов           |    |      |            |   |
             |-----------------------|    |------|            |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|------------------|----------------------------------------------|
|Трудовые действия |Изучение  документации  и  проведение  анализа|
|                  |возможностей  специализированных   программных|
|                  |платформ   и   спецификации   технологического|
|                  |оборудования для проектирования фотошаблонов  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проведение    анализа    базовой    информации|
|                  |(техническое      задание,       спецификации,|
|                  |технические   требования   по   проекту)   для|
|                  |проектирования     фотошаблонов      заданного|
|                  |технологического уровня                       |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Формирование перечня компонентов и  опций  для|
|                  |создания   расширяемой    структуры    системы|
|                  |проектирования      (ядра)       фотошаблонов,|
|                  |обусловленного          технико-экономическими|
|                  |возможностями выбранных программных платформ  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Определение  возможности  наличия  критических|
|                  |слоев в комплекте фотошаблонов  для  заданного|
|                  |технологического уровня                       |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Формирование   специфических   требований    к|
|                  |литографии   для   всех   критических    слоев|
|                  |заданного технологического уровня             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Разработка детального описания этапов маршрута|
|                  |проектирования  для  каждого  технологического|
|                  |слоя, включая разделение технологических слоев|
|                  |на группы (простая технологическая  коррекция,|
|                  |коррекция  эффектов  оптической  близости   на|
|                  |основе  эмпирических  правил   и   на   основе|
|                  |моделей)                                      |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Формирование     служебной     технологической|
|                  |информации, состоящей  из  знаков  базирования|
|                  |установки      фотолитографии,      маркировки|
|                  |фотошаблонов, штрих-кода и  других  элементов,|
|                  |необходимых для технологического оборудования |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Разработка  требований  к  рамке  виртуального|
|                  |прототипа  фотошаблона,  содержащей  служебную|
|                  |технологическую информацию                    |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Разработка   рекомендаций   по    оптимальному|
|                  |размещению  топологии  кристаллов  в  заданной|
|                  |области    (рамки    виртуального    прототипа|
|                  |фотошаблона)                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Определение            требований            к|
|                  |программно-аппаратному               комплексу|
|                  |проектирования фотошаблонов в  соответствии  с|
|                  |выбранным   набором   компонентов   и    опций|
|                  |специализированных программных платформ       |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Составление технико-экономического обоснования|
|                  |выбранных  программно-аппаратных  средств  для|
|                  |реализации системы проектирования фотошаблонов|
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые умения|Находить    решения    технических    проблем,|
|                  |пользуясь    технической    документацией    и|
|                  |современными информационными технологиями     |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проводить  полный   цикл   автоматизированного|
|                  |проектирования фотошаблона                    |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Использовать          целевые          системы|
|                  |автоматизированного            проектирования,|
|                  |программные          средства          системы|
|                  |автоматизированного             проектирования|
|                  |фотошаблонов                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Конвертировать   имеющийся   формат   описания|
|                  |топологии    в     формат     литографического|
|                  |оборудования                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проверять   ключевые    параметры    топологии|
|                  |(тональность, критичные  элементы,  габаритные|
|                  |размеры, метки совмещения, метки  проекционной|
|                  |литографии)   на   соответствие   техническому|
|                  |заданию и правилам проектирования             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Использовать   методы    защиты    информации;|
|                  |повторно  использовать  проектную  информацию,|
|                  |хранящуюся в базе данных на сервере           |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Работать с программными продуктами, текстовыми|
|                  |редакторами:   операционными    системами    с|
|                  |сетевыми приложениями                         |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые знания|Технический английский язык                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Технологии   производства    фотошаблонов    и|
|                  |интегральных схем                             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Типовые маршруты проектирования фотошаблонов в|
|                  |зависимости от технологического уровня        |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Булевы операции                               |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Программное обеспечение архивации,  аварийного|
|                  |восстановления в случае сбоев                 |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Ситуация на  мировом  рынке  фотошаблонов  под|
|                  |разные    топологические    нормы    (основные|
|                  |производители, цены, масштаб выпуска)         |
|------------------|----------------------------------------------|
|Другие            |                        -                     |
|характеристики    |                                              |
|------------------|----------------------------------------------|

                      3.2.2. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Разработка требований,| Код|B/02.7|   Уровень   | 7 |
             |спецификаций и        |    |      | (подуровень)|   |
             |формирование перечня  |    |      | квалификации|   |
             |прикладного           |    |      |             |   |
             |программного          |    |      |             |   |
             |обеспечения маршрута  |    |      |             |   |
             |проектирования        |    |      |             |   |
             |фотошаблонов под      |    |      |             |   |
             |требуемый уровень     |    |      |             |   |
             |технологии            |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|-------------------|---------------------------------------------|
|Трудовые действия  |Анализ       документации       используемого|
|                   |литографического,    электронно-лучевого    и|
|                   |контрольно-измерительного   оборудования    с|
|                   |целью  определения  технических  возможностей|
|                   |проектирования и изготовления фотошаблонов  с|
|                   |заданными параметрами                        |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Выбор   технических   средств   (или   анализ|
|                   |имеющихся    параметров)    и    специального|
|                   |программного обеспечения                     |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Анализ   методов   и    способов    коррекции|
|                   |оптических   искажений    при    изготовлении|
|                   |фотошаблонов для  заданного  технологического|
|                   |уровня                                       |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Разработка   маршрутных   карт,   описывающих|
|                   |последовательность  технологических  операций|
|                   |проектирования  фотошаблонов  для   заданного|
|                   |технологического уровня                      |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые умения |Использовать  методики  коррекции  оптических|
|                   |эффектов близости, коррекции фазового сдвига |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Использовать         целевые          системы|
|                   |автоматизированного           проектирования,|
|                   |формировать необходимые  модификации  системы|
|                   |автоматизированного проектирования           |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Определять    оптимизированное     размещение|
|                   |топологии      кристалла      с       помощью|
|                   |специализированных программных платформ      |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые знания |Технический английский язык                  |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Оптика  (дифракция,   интерференция,   основы|
|                   |фурье-оптики)                                |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Литографический     процесс,      особенности|
|                   |конкретного оборудования фотолитографии      |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Целевые      системы      автоматизированного|
|                   |проектирования                               |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Методика проектирования фотошаблонов         |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Особенности     конкретного     оборудования,|
|                   |используемого для фотолитографии             |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Методики верификации фотошаблонов            |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Возможности скриптовых языков                |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Технологии  выполнения   коррекции   эффектов|
|                   |оптической близости                          |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Другие             |                      -                      |
|характеристики     |                                             |
|-------------------|---------------------------------------------|

                      3.2.3. Трудовая функция

             |-----------------------|    |------|            |---|
Наименование |Проведение тестирования| Код|B/03.7|  Уровень   | 7 |
             |и верификации          |    |      |(подуровень)|   |
             |разработанного маршрута|    |      |квалификации|   |
             |проектирования         |    |      |            |   |
             |фотошаблонов           |    |      |            |   |
             |-----------------------|    |------|            |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|------------------|----------------------------------------------|
|Трудовые действия |Определение совместно  с  технологами  участка|
|                  |изготовления   фотошаблонов    требований    к|
|                  |тестовым  топологическим  элементам  заданного|
|                  |технологического     уровня,     обусловленных|
|                  |технологическими  возможностями  используемого|
|                  |литографического оборудования                 |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Разработка тестовых топологических элементов к|
|                  |фотошаблонам заданного технологического уровня|
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Формирование наборов  тестовых  топологических|
|                  |структур для всех критических  слоев  с  целью|
|                  |создания калибровочных моделей                |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Размещение тестовых элементов в  рабочем  поле|
|                  |фотошаблона (меток и служебной технологической|
|                  |информации)                                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Выполнение   процедур   передачи   управляющей|
|                  |информации     на     участок     изготовления|
|                  |фотошаблонов                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проведение     верификации     и      проверки|
|                  |литографических правил                        |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Выполнение   процедур    запроса    проведения|
|                  |контрольно-измерительных тестов изготовленного|
|                  |фотошаблона (толщина линий, наличие  дефектов,|
|                  |геометрических отклонений)                    |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Выполнение  процедур  запроса   статистических|
|                  |данных  для  анализа   корректности   тестовых|
|                  |структур фотошаблонов                         |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Формирование   отчета   о    тестировании    с|
|                  |использованием      описания      соответствия|
|                  |изготовленного      фотошаблона       исходным|
|                  |требованиям  и  рекомендациям  по  оптимизации|
|                  |размещения элементов топологии, выбору методов|
|                  |коррекции, повышению выхода годных            |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Внесение   изменений   в   маршрутную    карту|
|                  |проектирования   фотошаблонов,   обусловленных|
|                  |технологическими  возможностями  используемого|
|                  |оборудования и результатами тестирования      |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые умения|Пользоваться технической документацией        |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Проводить  полный   цикл   автоматизированного|
|                  |проектирования фотошаблонов                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Автоматизировать этапы разработки,  запуска  и|
|                  |анализа результатов тестов                    |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Применять   методологию   контроля    линейных|
|                  |размеров топологических элементов             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Владеть методами проектирования фазосдвигающих|
|                  |фотошаблонов                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Создавать тестовые фотошаблоны для  построения|
|                  |математической модели                         |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Использовать    соответствующие    программные|
|                  |средства                                      |
|------------------|----------------------------------------------|
|Необходимые знания|Технический английский язык                   |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Основы  технологии  производства  интегральных|
|                  |схем                                          |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Процессы    электронно-лучевой     литографии,|
|                  |лазерные генераторы изображения               |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Маршрут    разработки     и     проектирования|
|                  |фотошаблонов                                  |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Системы  проектирования  программных  средств,|
|                  |языки программирования                        |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Методики верификации фотошаблонов             |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Методики   измерения   критических    размеров|
|                  |элементов фотошаблона                         |
|                  |----------------------------------------------|
|                  |Маршруты   аттестации    фотошаблонов    через|
|                  |измерение рассовмещения фотошаблонов в наборе;|
|                  |определение    и    классификация    дефектов;|
|                  |сравнение исходных и проектных  топологических|
|                  |данных с реализованными на  шаблоне  заданного|
|                  |технологического уровня                       |
|------------------|----------------------------------------------|
|Другие            |                       -                      |
|характеристики    |                                              |
|------------------|----------------------------------------------|

                 3.3. Обобщенная трудовая функция

             |----------------------------|     |---|         |---|
Наименование |Выполнение                  | Код | С | Уровень | 7 |
             |внутрипроизводственных      |     |   | квали-  |   |
             |мероприятий по обеспечению  |     |   | фикации |   |
             |информационной безопасности |     |   |         |   |
             |при проектировании          |     |   |         |   |
             |фотошаблонов                |     |   |         |   |
             |----------------------------|     |---|         |---|

Происхождение |----------|------------|---------|-----------------|
обобщенной    |Оригинал X|Заимствовано|         |                 |
трудовой      |          |из оригинала|         |                 |
функции       |----------|------------|---------|-----------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|------------------|----------------------------------------------|
|Возможные         |Ведущий (главный) инженер-проектировщик       |
|наименования      |                                              |
|должностей        |                                              |
|------------------|----------------------------------------------|

|------------------|----------------------------------------------|
|Требования к      |Высшее образование - специалитет, магистратура|
|образованию и     |Дополнительные профессиональные программы -   |
|обучению          |программы повышения квалификации, программы   |
|                  |профессиональной переподготовки               |
|------------------|----------------------------------------------|
|Требования к опыту|Опыт практической  работы  более  трех  лет  в|
|практической      |области проектирования фотошаблонов           |
|работы            |                                              |
|------------------|----------------------------------------------|
|Особые условия    |Прохождение обязательных предварительных  (при|
|допуска к работе  |поступлении   на   работу)   и   периодических|
|                  |медицинских осмотров (обследований),  а  также|
|                  |внеочередных       медицинских        осмотров|
|                  |(обследований)   в   порядке,    установленном|
|                  |законодательством Российской Федерации        |
|------------------|----------------------------------------------|

     Дополнительные характеристики:

|------------------|------|---------------------------------------|
|  Наименование    | Код  |      Наименование базовой группы,     |
|    документа     |      |должности (профессии) или специальности|
|------------------|------|---------------------------------------|
|ОКЗ               |1222  |Руководители         специализированных|
|                  |      |(производственно-эксплуатационных)     |
|                  |      |подразделений, служб                   |
|                  |------|---------------------------------------|
|                  |2139  |Специалисты по компьютерам, не вошедшие|
|                  |      |в другие группы                        |
|                  |------|---------------------------------------|
|                  |2144  |Инженеры-электроники, инженеры по связи|
|                  |      |и приборостроению                      |
|------------------|------|---------------------------------------|
|ЕКС               |  -   |Главный инженер проекта                |
|------------------|------|---------------------------------------|
|ОКСО              |210100|Электроника и микроэлектроника         |
|                  |------|---------------------------------------|
|                  |210600|Нанотехнология                         |
|                  |------|---------------------------------------|
|                  |230100|Информатика и вычислительная техника   |
|------------------|------|---------------------------------------|

                      3.3.1. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Проведение анализа    | Код|C/01.7|   Уровень   | 7 |
             |новейших исследований |    |      | (подуровень)|   |
             |в области             |    |      | квалификации|   |
             |информационной        |    |      |             |   |
             |безопасности и защиты |    |      |             |   |
             |данных при            |    |      |             |   |
             |проектировании        |    |      |             |   |
             |фотошаблонов          |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|-------------------|---------------------------------------------|
|Трудовые действия  |Проведение   анализа   угроз   информационной|
|                   |безопасности проекта                         |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Проведение  анализа  новейших   исследований,|
|                   |публикаций и других источников информации  по|
|                   |способам защиты информации и проектных данных|
|                   |при     проектировании     и     изготовлении|
|                   |фотошаблонов                                 |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Выработка рекомендаций по эффективным методам|
|                   |защиты проектных решений                     |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые умения |Владеть методами защиты первичной  информации|
|                   |(программное   обеспечение   авторизации    в|
|                   |системе приема  первичных  данных  как  формы|
|                   |заказа   при   проектировании   фотошаблонов,|
|                   |мобильные носители данных)                   |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Владеть    разработанными    в    организации|
|                   |специализированными      методами      защиты|
|                   |информации                                   |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Использовать  специализированное  программное|
|                   |обеспечение защиты от вторжений  (антивирусы,|
|                   |брандмауэры)                                 |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые знания |Базовые  методы  обеспечения   информационной|
|                   |безопасности при использовании сети Интернет;|
|                   |составление протокола передачи файлов в  сети|
|                   |Интернет                                     |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Технологии производства интегральных  схем  и|
|                   |проектирования фотошаблонов                  |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Технический английский язык                  |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Правила оформления проектной документации    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Средства защиты программ                     |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Регламенты     обеспечения     информационной|
|                   |безопасности, используемые в организации     |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Другие             |                       -                     |
|характеристики     |                                             |
|-------------------|---------------------------------------------|

                      3.3.2. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Разработка регламента | Код|C/02.7|   Уровень   | 7 |
             |обеспечения           |    |      | (подуровень)|   |
             |информационной защиты |    |      | квалификации|   |
             |проектных решений при |    |      |             |   |
             |проектировании        |    |      |             |   |
             |фотошаблонов          |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|----------------|------------------------------------------------|
|Трудовые        |Анализ     технической      документации      на|
|действия        |проектирование    фотошаблонов,    сопутствующее|
|                |оборудование и программное обеспечение          |
|                |------------------------------------------------|
|                |Оценка  существующего   регламента   обеспечения|
|                |защиты  проектных  решений  при   проектировании|
|                |фотошаблонов                                    |
|                |------------------------------------------------|
|                |Консультации   со   специалистами   в    области|
|                |информационной   безопасности   по   обеспечению|
|                |защиты  проектных  решений  при   проектировании|
|                |фотошаблонов                                    |
|                |------------------------------------------------|
|                |Корректировка  регламента   обеспечения   защиты|
|                |проектных     решений     при     проектировании|
|                |фотошаблонов                                    |
|----------------|------------------------------------------------|
|Необходимые     |Использовать  специализированные  методы  защиты|
|умения          |информации, разработанные в организации         |
|                |------------------------------------------------|
|                |Эффективно использовать новые технологии  защиты|
|                |информации     в      разработке      регламента|
|                |информационной защиты проектных решений         |
|                |------------------------------------------------|
|                |Использовать  специализированные  аппаратные   и|
|                |программные         средства         обеспечения|
|                |конфиденциальности и защиты информации  (системы|
|                |контроля доступа, системы  авторизации,  системы|
|                |антивирусной защиты)                            |
|----------------|------------------------------------------------|
|Необходимые     |Технический английский язык                     |
|знания          |------------------------------------------------|
|                |Специализированные     программные     платформы|
|                |проектирования фотошаблонов, средства разработки|
|                |программ                                        |
|                |------------------------------------------------|
|                |Тиражирование решений: программного  обеспечения|
|                |выгрузки  из  базы  данных  проектных   решений;|
|                |программного  обеспечения   шифрования   данных;|
|                |программного   обеспечения   генерации    ключей|
|                |доступа; программного обеспечения авторизации   |
|                |------------------------------------------------|
|                |Технология и методы  обеспечения  информационной|
|                |безопасности  функционально-структурной   модели|
|                |подсистемы  каталогизации  проектной  информации|
|                |(программного обеспечения приема  топологической|
|                |информации, загрузки в базу данных  отработанных|
|                |проектных решений, шифрования данных, архивации)|
|----------------|------------------------------------------------|
|Другие          |                        -                       |
|характеристики  |                                                |
|----------------|------------------------------------------------|

                      3.3.3. Трудовая функция

             |----------------------|    |------|             |---|
Наименование |Контроль выполнения   | Код|C/03.7|   Уровень   | 7 |
             |внутреннего регламента|    |      | (подуровень)|   |
             |информационной защиты |    |      | квалификации|   |
             |проектных решений     |    |      |             |   |
             |----------------------|    |------|             |---|

              |----------|------------|--------|------------------|
Происхождение |Оригинал X|Заимствовано|        |                  |
трудовой      |          |из оригинала|        |                  |
функции       |----------|------------|--------|------------------|
                                          Код     Регистрационный
                                       оригинала       номер
                                                  профессионального
                                                     стандарта

|-------------------|---------------------------------------------|
|Трудовые действия  |Проведение инструктажа персонала о           |
|                   |профилактике защиты проектных данных         |
|                   |техническими и административными методами    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Проведение  периодических   проверок   систем|
|                   |защиты проектных решений согласно требованиям|
|                   |и регламентам организации                    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Проведение        контроля         соблюдения|
|                   |административных процедур защиты  информации,|
|                   |ведения журнала учета нештатных ситуаций     |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые умения |Использовать базовые методы защиты информации|
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Использовать   внедренные    в    организации|
|                   |специализированные методы защиты информации  |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Использовать специализированные аппаратные  и|
|                   |программные       средства        обеспечения|
|                   |конфиденциальности   и   защиты    информации|
|                   |(система    контроля     доступа,     система|
|                   |авторизации, система антивирусной защиты)    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Применять средства  криптографической  защиты|
|                   |информации                                   |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Необходимые знания |Правила оформления проектной документации    |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Способы защиты проектных решений             |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Методы    информационной    защиты:    методы|
|                   |тиражирования проектных решений,  программное|
|                   |обеспечение выгрузки из базы данных проектных|
|                   |решений, программное  обеспечение  шифрования|
|                   |данных,  программное  обеспечение   генерации|
|                   |ключей   доступа,   программное   обеспечение|
|                   |авторизации                                  |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Основы управления персоналом                 |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Основы        организации        эффективного|
|                   |взаимодействия  и  деловых   коммуникаций   в|
|                   |коллективе                                   |
|                   |---------------------------------------------|
|                   |Знание технологического регламента           |
|-------------------|---------------------------------------------|
|Другие             |                      -                      |
|характеристики     |                                             |
|-------------------|---------------------------------------------|

  IV. Сведения об организациях - разработчиках профессионального
                             стандарта

            4.1. Ответственная организация-разработчик

|-----------------------------------------------------------------|
|Фонд инфраструктурных и образовательных программ (РОСНАНО), город|
|Москва                                                           |
|                                                                 |
|Генеральный директор                Свинаренко Андрей Геннадьевич|
|-----------------------------------------------------------------|

            4.2. Наименования организаций-разработчиков

|--|--------------------------------------------------------------|
|1.|ЗАО "Зеленоградский нанотехнологический центр", город Москва  |
|--|--------------------------------------------------------------|
|2.|ФГАОУ ВПО "Национальный исследовательский университет "МИЭТ", |
|  |город Москва                                                  |
|--|--------------------------------------------------------------|
|3.|ГУП НПЦ "ЭЛВИС", город Москва                                 |
|--|--------------------------------------------------------------|
|4.|ЗАО "ППК Миландр", город Москва                               |
|--|--------------------------------------------------------------|
|5.|ЗАО "ИДМ плюс", город Москва                                  |
|--|--------------------------------------------------------------|
|6.|АНО "Национальное агентство развития квалификаций", город     |
|  |Москва                                                        |
|--|--------------------------------------------------------------|


                           _____________